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一种MOL工艺中晶体管引脚提取和绕线的方法 

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申请/专利权人:杭州广立微电子股份有限公司

摘要:本发明提供一种MOL工艺中晶体管引脚提取和绕线的方法,先将目标器件与其他器件进行隔离,保证测试器件不受周边器件电参数的影响,然后,遍历所有连接引脚的可能位置,并自动、快速定位到最优连接点。

主权项:1.一种MOL工艺中晶体管引脚提取和绕线的方法,其特征在于,具体包括下述步骤:步骤1:读入原始版图文件,并获取所有待测器件的位置坐标和类型;步骤2:取原始版图文件,并确定至少一个待测器件作为目标器件;步骤3:识别出每个目标器件已有的将源极、漏极或者栅极连接至第一层金属层M0的通孔,并获取上述通孔的位置信息存储作为该目标器件的原始通孔位置;步骤4:对目标器件的版图进行处理:删除所有待测器件已有的将源极、漏极或者栅极连接至M0的通孔,以及目标器件的M0上所有已有的绝缘层;步骤5:查找每个目标器件中所有能将源极、漏极或者栅极连接至M0的位置,得到每个目标器件的通孔位置列表;步骤6:分别取每个目标器件的通孔位置列表,从通孔位置列表的元素中筛选符合该目标器件通孔布局条件的通孔位置:若未筛选到所需数量的通孔位置,则修改目标器件的版图环境:在目标器件的M0上添加一个绝缘层,并保证该绝缘层的位置不属于步骤3中获取的原始通孔位置;然后至步骤5重复执行;筛选结束后,得到每个目标器件所需数量的通孔位置,然后继续执行步骤7;步骤7:在筛选出来的通孔位置,分别进行相应的通孔布局和布线,完成所有目标器件的晶体管引脚提取和绕线;步骤8:判断是否还有待测器件未进行晶体管引脚提取和绕线,若是,则至步骤2继续执行,否则即说明已完成所有待测器件的晶体管引脚提取和绕线。

全文数据:

权利要求:

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