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一种片上调控SNSPD速度的器件制备方法 

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申请/专利权人:赋同量子科技(浙江)有限公司

摘要:本发明公开一种片上调控SNSPD速度的器件制备方法,器件包括电极引线区域的纳米线和光响应区域的纳米线,且两者串联在一起。本文提出的超导纳米线单光子探测器结构,将电极引线区域的纳米线的宽度改为小于光响应区域纳米线的宽度,从而在光响应区域纳米线正常响应光子时,电极引线区域纳米线失超构成片上串联电阻,进而可以调控超导纳米线单光子探测器响应一个光子后的恢复速度。

主权项:1.一种片上调控SNSPD速度的器件制备方法,其特征在于,首先,超导纳米线单光子探测器的构成单元即纳米线的电阻通过纳米线中流过的电流来调控,其次,将纳米线分成串联的两部分,一段充当光敏面,用以响应光子,一段充当串联电阻,用以调控恢复速度。

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权利要求:

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