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申请/专利权人:苏州贝达新材料科技有限公司
摘要:本实用新型公开了一种应用于晶圆包装的杜邦纸铝箔袋,包括由复合材料制成的袋体,所述复合材料包括外层、中间层、内层,所述外层利用杜邦Tyvek纸制成,所述中间层利用铝箔制成,所述内层利用无尘防静电聚乙烯制成,所述袋体的边缘通过所述内层热封粘合。三层材料通过复合胶水粘合,制得杜邦纸铝箔袋产品,除了常规防潮防静电袋性能外,具有无尘,无阴阳离子的特性,包装晶圆后,不会对后期晶圆的光刻良率造成影响,适用于晶圆包装。
主权项:1.一种应用于晶圆包装的杜邦纸铝箔袋,其特征在于,包括由复合材料制成的袋体,所述复合材料包括外层、中间层、内层,所述外层利用杜邦Tyvek纸制成,所述中间层利用铝箔制成,所述内层利用无尘防静电聚乙烯制成,所述袋体的边缘通过所述内层热封粘合。
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