龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：无锡邑文电子科技有限公司
摘要：本发明属于专用于半导体器件的PLD镀膜技术领域，具体涉及一种专用于半导体器件的PLD镀膜装置，包括靶材安装机构、激光发射机构和镀膜基底机构，靶材安装机构包括：具有若干开孔的靶材基座，用于安装靶材的若干靶材安装座，膜厚仪；靶材安装机构还包括：若干靶材角度调节器，其与若干靶材安装座一一对应，且其第一端转动连接在对应的靶材安装座上，其第二端铰接在靶材基座上；若干柔性连接器，其与若干靶材安装座一一对应，且其一端连接在所述靶材安装座上，另一端连接在第二驱动机构上。本发明能够实现单独精密调节单个靶材的溅射角度，保证了每次溅射的一致性，并能实时根据检测的膜厚调整靶材的溅射角度，利于提升沉积膜层厚度均匀性。
主权项：1.一种专用于半导体器件的PLD镀膜装置，包括靶材安装机构、激光发射机构和镀膜基底机构，所述靶材安装机构包括：具有若干开孔的靶材基座，驱动靶材基座公转的第一驱动机构，用于安装靶材的若干靶材安装座，驱动靶材安装座自转的第二驱动机构，若干靶材安装座分别对应安装在若干开孔处，其特征在于，所述专用于半导体器件的PLD镀膜装置还包括：膜厚仪，其检测端靠近所述镀膜基底机构的镀膜基底设置；且所述靶材安装机构还包括：若干靶材角度调节器，其与若干靶材安装座一一对应，且其第一端转动连接在对应的靶材安装座上，其第二端铰接在所述靶材基座上；若干柔性连接器，其与若干靶材安装座一一对应，且其一端连接在所述靶材安装座上，另一端连接在所述第二驱动机构上；所述靶材角度调节器包括：调节板，其中部开设转动孔，所述靶材安装座通过轴承转动套接在所述转动孔内；铰接轴，其具有第一端轴和第二端轴，第一端轴和第二端轴分别位于所述调节板的两侧且分别与调节板固接，第一端轴和第二端轴分别直接铰接在所述靶材基座上或分别通过耳板铰接在所述靶材基座上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡邑文电子科技有限公司 一种专用于半导体器件的PLD镀膜装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号