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申请/专利权人:株式会社力森诺科
申请日:2022-02-10
公开(公告)日:2023-10-27
公开(公告)号:CN116963817A
专利技术分类:...按“移动床”法[2006.01]
专利摘要:提供一种氟化氢气体去除装置,其在实行使用去除剂从含有氟化氢气体的混合气体中去除氟化氢气体的去除处理时,不易产生去除剂的粘连。一种氟化氢气体去除装置,能够从含有氟化氢气体和其他种类气体的混合气体中去除氟化氢气体。该氟化氢气体去除装置具备:实行通过使混合气体与从混合气体中去除氟化氢气体的去除剂接触而从混合气体中去除氟化氢气体的处理的氟化氢气体去除处理机10;向氟化氢气体去除处理机10供给去除剂的去除剂供给机20;使收纳在氟化氢气体去除处理机10内的去除剂在氟化氢气体去除处理机10内移动的去除剂移动机;以及将使用完毕的去除剂从氟化氢气体去除处理机10排出的去除剂排出机。
专利权项:1.一种氟化氢气体去除装置,是从含有氟化氢气体和其他种类气体的混合气体中去除所述氟化氢气体的氟化氢气体去除装置,其具备氟化氢气体去除处理机、去除剂供给机、去除剂移动机和去除剂排出机,所述氟化氢气体去除处理机能够收纳用于从所述混合气体中去除所述氟化氢气体的去除剂,并且具有导入所述混合气体的气体导入口、和排出实施了去除所述氟化氢气体的处理的所述混合气体的气体排出口,所述氟化氢气体去除处理机实行通过使所述混合气体与所述去除剂接触而从所述混合气体中去除所述氟化氢气体的处理,所述去除剂供给机向所述氟化氢气体去除处理机供给所述去除剂,所述去除剂移动机使收纳在所述氟化氢气体去除处理机内的所述去除剂在所述氟化氢气体去除处理机内移动,所述去除剂排出机将在所述氟化氢气体去除处理机中被用于从所述混合气体去除所述氟化氢气体的处理中的使用完毕的所述去除剂从所述氟化氢气体去除处理机排出。
百度查询: 株式会社力森诺科 氟化氢气体去除装置和氟化氢气体的去除方法
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