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一种蠕虫形氧化硅磨粒及其制备方法和应用 

申请/专利权人:昆山捷纳电子材料有限公司

申请日:2021-08-31

公开(公告)日:2024-01-16

公开(公告)号:CN113716568B

主分类号:C01B33/021

分类号:C01B33/021;C09G1/02

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.01.16#授权;2021.12.17#实质审查的生效;2021.11.30#公开

摘要:本发明公开了一种蠕虫形氧化硅磨粒及其制备方法和应用;所述蠕虫形氧化硅磨粒的制备方法分为三步,包括制备球形氧化硅种子、诱导球形氧化硅种子自组装制备蠕虫形氧化硅颗粒、活性硅酸进一步生长使蠕虫形颗粒表面更加致密,连接部分更加牢固。与传统球形氧化硅磨粒相比,本发明蠕虫形氧化硅磨粒具有高的尺寸纵横比、提供的摩擦系数更高,对手机氧化锆陶瓷盖板进行抛光,可有效地提高材料去除率,并降低氧化锆陶瓷盖板的表面粗糙度。

主权项:1.一种蠕虫形氧化硅磨粒的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:S01:晶种的制备:将L-赖氨酸溶于去离子水中,加入正硅酸乙酯,恒温水浴搅拌下反应12h;逐滴滴加正硅酸乙酯;滴加完毕继续恒温水浴搅拌下反应24小时,得到固含量为6.0-8.0wt.%、粒径为10~20nm的球形氧化硅晶种溶液;S02:蠕虫形氧化硅粒子的制备:取步骤S01得到的球形氧化硅晶种溶液,搅拌条件下添加到含用L-赖氨酸和CaCl2的去离水中,加入正硅酸乙酯,恒温水浴搅拌下反应12h,得到蠕虫形氧化硅粒子溶液;其中,L-赖氨酸和CaCl2的质量比为2.5~5:1;氧化硅晶种溶液与L-赖氨酸的质量比为125:1;加入的正硅酸乙酯与氧化硅晶种溶液的质量比为0.35:1;S03:活性硅酸对蠕虫形氧化硅粒子的生长加固:将步骤S02得到的蠕虫形氧化硅粒子溶液加热至沸腾,充分搅拌下,逐渐加入固含量为2.0-2.4%的活性硅酸溶液;在反应过程中,通过控制硅酸溶液的滴加速率和水的蒸发速率,使液位保持恒定;同时,添加1wt.%氢氧化钠溶液,以确保反应体系的pH为9.0-10;停止添加完硅酸溶液后,溶液进一步反应1小时,冷却得到蠕虫形氧化硅磨粒。

全文数据:

权利要求:

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