龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：阿博索伯(苏州)自动化设备科技有限公司
摘要：本发明涉及晶圆检测设备技术领域，具体涉及一种FTIR检测红外光路自动调整机构；包括用以发出红外光的FTIR红外发生仪，还包括上光路模组；下光路模组；承载平台；自动升降机构，增设可调节待测物高度的自动升降机构，在需要时通过调节自动升降机构的方式实现对于待测物的高度调整，从而使得主红外光在待测物第一光路和第二光路，进而实现对于待测物的关键参数测量。
主权项：1.一种FTIR检测红外光路自动调整机构，包括用以发出红外光的FTIR红外发生仪，其特征在于，还包括上光路模组，所述上光路模组用以接收FTIR红外发生仪发出的主红外光，在所述上光路模组内反射主红外光形成第一光路；下光路模组，所述下光路模组与所述上光路模组相对设置，且所述下光路模组靠近所述上光路模组的一侧设有让透射过待测物的部分红外光通过的光路通道，主红外光经待测物折射后在所述下光路模组内形成第二光路；承载平台，所述承载平台可旋转地设置在所述上光路模组与所述下光路模组之间，且所述承载平台用以装载待测物；自动升降机构，所述自动升降机构设置在所述承载平台的下侧，以调节所述承载平台与所述上光路模组之间的间距。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 阿博索伯(苏州)自动化设备科技有限公司 一种FTIR检测红外光路自动调整机构
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号