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申请/专利权人：集萃新材料研发有限公司;长三角先进材料研究院
摘要：本实用新型公开了一种实现FIB‑TKD联用的样品夹具及扫描电镜检测系统，样品夹具包括样品座和可转动安装在样品座上的半铜网装夹片，样品座与扫描电镜样品台之间可拆卸连接；半铜网装夹片上设置至少一个半圆环槽，用于放置半铜网，每个半圆环槽配有压紧簧片用于对半圆环槽上的半铜网进行夹持固定；在样品座和半铜网装夹片之间设置定位单元，利用定位单元对转动一定角度后的半铜网装夹片位置进行固定。基于该样品夹具，本申请还提出了一种同时实现FIB制样与TKD实验的扫描电镜检测系统，包括TKD实验单元、制样系统等，利用样品夹具调节样品的位置可以快速、高效地制备出满足测试用的平面透射电镜样品，也能完成透射式EBSDTKD实验。
主权项：1.一种实现FIB-TKD联用的样品夹具，其特征在于，包括：样品座2，所述样品座2与扫描电镜样品台7之间可拆卸连接；半铜网装夹片4，所述半铜网装夹片4可转动安装在样品座2上；所述半铜网装夹片4上设置至少一个半圆环槽4-1，每个半圆环槽4-1配有压紧簧片4-2；压紧簧片4-2的一端为固定端，另一端为自由端且朝向半圆环槽4-1；半铜网，所述半铜网用于支撑FIB切取的薄片样品且用于薄片厚度减薄；定位单元，所述定位单元包括限位凸杆4-5和角度通孔2-2；所述限位凸杆4-5设在半铜网装夹片4上，在与限位凸杆4-5转动轨迹相对的样品座2上设置多个角度通孔2-2。
全文数据：
权利要求：
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