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一种基于半导体激光器的NICE-OHMS系统 

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申请/专利权人:山西大学

摘要:本发明属于激光光谱技术领域,具体涉及一种基于半导体激光器的NICE‑OHMS系统。现有的NICE‑OHMS系统激光器价格昂贵、PDH伺服回路复杂、频率捕捉范围较窄,本发明将半导体激光器应用到NICE‑OHMS系统中,且利用光学反馈和反馈相位的主动控制,实现对光学腔的激光锁定,并且本系统的PID伺服回路简单,频率锁定范围更宽。本发明只需要简单的PID伺服回路与价格低廉的激光器就可以探测不同痕量气体,简化实验装置复杂性,提高了系统兼容性,降低了成本,有利于NICE‑OHMS技术产业化。

主权项:1.一种基于半导体激光器的NICE-OHMS系统,其特征在于,包括激光控制器1、DFB激光器2、电光调制器3、准直器4、精密位移台5、12波片6、PBS7、反射镜8、第一PZT9、匹配透镜10、14波片11、光学腔12、第一PID伺服回路20、第二射频信号源23、第二移相器25、第四混频器29、第三低通滤波器30、第二光电探测器31;所述激光控制器1驱动DFB激光器2发出出射光,依次经过电光调制器3、准直器4、12波片6、PBS7、反射镜8、匹配透镜10、14波片11到达光学腔12,所述光学腔12的反射光原路返回至PBS7后产生两束光,一束进入第二光电探测器31,另一束经过12波片6、准直器4、电光调制器3,最后回到DFB激光器2,所述准直器4设置在精密位移台5上,用于粗调激光输出面和光学腔12前镜之间的距离;所述第二射频信号源23发出的射频信号一路进入电光调制器3,一路经过第二移相器25进入第四混频器29,所述第二光电探测器31探测到的反射信号也进入第四混频器29,经过第四混频器29得到拍频信号,拍频信号经过第三低通滤波器30,到达第一PID伺服回路20,进而控制第一PZT9,所述第一PZT9设置在反射镜8上。

全文数据:

权利要求:

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