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申请/专利权人：昕芙旎雅有限公司
摘要：在本发明中，当惰性气体的供应流量改变时，循环路径中的压力波动被抑制。该EFEM设置有：供应阀，其能够改变供应到循环路径的惰性气体的供应流量；排出阀，其能够改变从所述循环路径排出的气体的排出流量；浓度检测部，其检测所述循环路径内的气氛的变化；压力检测部，其检测所述循环路径中的压力；以及控制部，其控制所述供应阀和所述排出阀。所述控制单元基于所述浓度检测部获得的检测结果，确定所述排出阀的开度为预定值。
主权项：1.一种EFEM，所述EFEM包括：循环路径，其使惰性气体循环，所述循环路径包括：传送室，其包括传送机器人；风扇过滤单元安装室，其包括布置成形成层流的风扇过滤单元，并且被配置为清洁所述惰性气体并传送清洁后的惰性气体；以及返回路径，其被布置为将所述传送室中的惰性气体返回到所述风扇过滤单元安装室，供应阀，其被配置为能够改变供应到所述循环路径中的所述惰性气体的供应流量；排出阀，其被配置成能够改变从所述循环路径排出的气体的排出流量；浓度检测部，其被配置为检测所述循环路径内的气氛的变化；压力检测部，其被配置为检测所述循环路径中的压力；以及控制部，其被配置为控制所述供应阀和所述排出阀，其中，所述控制部被配置为基于所述浓度检测部的检测结果，将所述排出阀的开度确定为预定值。
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