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申请/专利权人：浙江爱旭太阳能科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司
摘要：本申请适用于太阳能电池领域，提供了一种异质结电池的TCO薄膜及其制作方法。异质结电池的TCO薄膜的制作方法，溅射系统中的靶材为In1‑xGax2‑yZryO3靶材，x的范围为[0.00，0.28]，y的范围为[0.01，0.18]。如此，通过调节靶材中Ga的含量来提高TCO薄膜的禁带宽度，使得TCO薄膜的紫外波段的光透过率提高。同时，通过调节靶材中Zr的含量来提高TCO薄膜的载流子迁移率，使得近红外波段的光透过率提高并保持TCO薄膜的良好导电特性。这样，可以降低光学寄生吸收，从而提高异质结电池的光利用率。
主权项：1.一种异质结电池的TCO薄膜的制作方法，其特征在于，包括：在溅射系统中安装In1-xGax2-yZryO3靶材；其中，x的范围为[0.01，0.17]，y的范围为[0.08，0.18]；在所述溅射系统的腔室内进行抽真空处理并对待溅射生长薄膜的衬底加热，使所述衬底的温度为230℃-240℃；其中，所述衬底由硅衬底通过制绒、扩散、沉积N型非晶硅层、沉积本征非晶硅层和沉积P型非晶硅层制成；向所述腔室内通入工艺气体；对所述溅射系统启辉，在待溅射生长薄膜的所述衬底溅射TCO薄膜；溅射功率密度为3.6Wcm2-12Wcm2，待溅射生长薄膜的衬底到所述靶材的距离为4cm-12cm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江爱旭太阳能科技有限公司 珠海富山爱旭太阳能科技有限公司 天津爱旭太阳能科技有限公司 广东爱旭科技有限公司 一种异质结电池的TCO薄膜及其制作方法
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