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申请/专利权人：中威新能源(成都)有限公司
摘要：本发明涉及一种TCO镀膜方法、TCO镀膜设备、太阳能电池及其制备方法。该TCO镀膜方法中，将待镀件装载于载板上，并进行TCO镀膜处理；在所述TCO镀膜处理步骤中，监测所述TCO镀膜处理步骤中的水汽分压；当监测到所述TCO镀膜处理步骤中的水汽分压大于5.0×e‑3Pa时，停止镀膜或继续完成所述TCO镀膜处理，再对所述载板进行离子刻蚀清洗，以使所述水汽分压不大于5.0×e‑3Pa。该TCO镀膜方法在连续化生产时，能从源头切断水汽波动源，生产稳定性高，进而可以提高太阳能电池的生产效率及生产稳定性。
主权项：1.一种TCO镀膜方法，其特征在于，包括如下步骤：将待镀件装载于载板上，并进行TCO镀膜处理；在所述TCO镀膜处理步骤中，监测所述TCO镀膜处理步骤中的水汽分压；当监测到所述TCO镀膜处理步骤中的水汽分压大于5.0×e-3Pa时，停止镀膜或继续完成所述TCO镀膜处理，再对所述载板进行离子刻蚀清洗，以使所述水汽分压不大于5.0×e-3Pa。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中威新能源(成都)有限公司 TCO镀膜方法、TCO镀膜设备、太阳能电池及其制备方法
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