申请/专利权人：泓浒(苏州)半导体科技有限公司

申请日：2024-03-04

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117851788A

主分类号：G06F18/20

分类号：G06F18/20;G06F18/241;G06F18/27;G06Q50/04

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明涉及晶圆传送技术领域，本发明公开了一种基于天车的晶圆传送自动化调度方法及系统，包括获取监测区域内实时天车数量以及实时天车状态，根据实时天车数量确定监测区域状态，当监测区域状态为第二状态时，生成预定时间区间，根据两辆天车所对应的预定时间区间确定两辆天车是否会发生相撞，当确定两辆天车会发生相撞时，基于天车分类结果以及标准速度变量对监测区域内天车进行控制，这样既避免了控制其中一辆天车停止移动，造成天车在减速的过程出现强烈的不稳定性，出现晶圆严重损伤的现象，又能根据实时天车状态为载荷状态或者空载状态，得出精确的天车分类结果，实现了通过天车状态对天车进行精确的控制。

主权项：1.一种基于天车的晶圆传送自动化调度方法，其特征在于，包括：S10：获取监测区域内实时天车数量以及实时天车状态，根据实时天车数量确定监测区域状态，监测区域状态包括第一状态和第二状态；S20：当监测区域状态为第二状态时，基于实时天车状态获取至少两辆天车的标准速度，基于标准速度确定相应的预定时间区间，所述预定时间区间为天车到达交汇点时刻开始至天车超越交汇点时刻结束的范围，所述交汇点为天车运输路线之间的交点；S30：判定至少两辆天车对应的预定时间区间是否存在交集，若是，则根据实时天车状态以及预定时间区间确定天车分类结果以及标准速度变量；S40：基于天车分类结果以及标准速度变量对监测区域内天车进行控制。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 泓浒(苏州)半导体科技有限公司 一种基于天车的晶圆传送自动化调度方法及系统

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