申请/专利权人：天合光能(宿迁)光电有限公司

申请日：2023-08-24

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220746141U

主分类号：C30B31/10

分类号：C30B31/10;C30B31/16;H01L31/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本申请提供了一种扩散炉包括：炉体、分散板、第一气管以及第二气管。分散板上设置有多个通气孔，分散板具有第一曲面。第一气管插入缓冲腔内。第二气管伸入合成腔内。分散板将炉体的内部分隔为缓冲腔及合成腔，气体从第一气管进入缓冲腔后被分散板阻挡，从而降低了气体的流速，稳定缓冲腔内的气流，使气体在缓冲腔内充分混合，充分混合的气体能够有效地提高与其反应的硅片方阻的均匀性。由于通气孔的分散作用，使气体通过分散板上通气孔平缓、均匀的进入合成腔内，从而使气体分流更加稳定，使得气体均匀地扩散至合成腔。第一曲面对气体起到了导向作用，从而能够有效地减少涡流和紊流的产生，以使气体更加稳定、且均匀低扩散至缓冲腔。

主权项：1.一种扩散炉，其特征在于，所述扩散炉包括：炉体，所述炉体包括相对设置有第一端及第二端；分散板，所述分散板设置在所述炉体内，并位于所述第一端，所述分散板将所述炉体的内部分隔为缓冲腔及合成腔，所述分散板上设置有多个通气孔，所述分散板上位于所述缓冲腔内的板面为第一曲面；第一气管，所述第一气管设置在所述炉体上，并位于所述第一端，所述第一气管的一端插入所述缓冲腔内，并与所述缓冲腔连通，所述第一气管的另一端伸出所述炉体；以及第二气管，所述第二气管设置在所述炉体上，并位于所述第一端，所述第二气管的一端穿过所述缓冲腔伸入所述合成腔内，并与所述合成腔连通，所述第二气管的一端延伸至所述第二端，所述第二气管的另一端伸出所述炉体。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 天合光能(宿迁)光电有限公司 扩散炉

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