申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2022-08-16

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117881814A

主分类号：C23C16/44

分类号：C23C16/44;C23C16/458

优先权：["20210819 US 17/407,086"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：描述了支座组件、用于支座组件的冲洗环、及用于增加边缘冲洗气体在加热的支座组件中的停留时间的处理方法。冲洗环具有限定冲洗环的厚度的内直径面和外直径面、限定冲洗环的高度的顶部表面和底部表面、和热膨胀特征。冲洗环包括延伸穿过厚度并与基板支撑件中的多个在圆周上间隔的冲洗出口在圆周上对齐的多个孔隙。

主权项：1.一种支座组件，包括：基板支撑件，所述基板支撑件具有支撑表面和外周边壁架，所述支撑表面具有支撑表面外边缘，所述外周边壁架具有壁架顶部表面和壁架外周边面，所述外周边壁架具有从所述壁架外周边面径向向内延伸进入所述基板支撑件的多个在圆周上间隔的冲洗出口，所述壁架顶部表面在所述支撑表面下方；和冲洗环，所述冲洗环具有限定所述冲洗环的厚度的内直径面和外直径面，以及限定所述冲洗环的高度的顶部表面和底部表面，所述冲洗环包括延伸穿过所述厚度且与所述多个在圆周上间隔的冲洗出口在圆周上对齐的多个孔隙。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 用于支座组件的冲洗环

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