申请/专利权人：东京毅力科创株式会社

申请日：2023-10-13

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN117917760A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：["20221020 JP 2022-168413"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.23#公开

摘要：本发明提供即使在使用粘度较高的药液时也能够以较少的部件个数实现较高的清洁度和释放精度的处理液供给系统及其运转方法。本发明的一个实施方式的处理液供给系统包括：罐，其贮存从处理液供给部供给的处理液；与上述罐连接的循环通路；多个供给通路，其与上述循环通路连接，向对基片进行液处理的多个液处理部分别供给处理液；第一泵过滤器组，其是第一泵和设置于其下游侧的多个第一过滤器的组合；以及第二泵过滤器组，其是第二泵和设置于其下游侧的多个第二过滤器的组合，上述第一泵过滤器组和上述第二泵过滤器组以上述第一泵过滤器组位于比上述第二泵过滤器组靠上游侧处的方式串联地配置于上述循环通路。

主权项：1.一种处理液供给系统，其特征在于，包括：罐，其贮存从处理液供给部供给的处理液；与所述罐连接的循环通路；多个供给通路，其与所述循环通路连接，向对基片进行液处理的多个液处理部分别供给处理液；第一泵过滤器组，其是第一泵和设置于其下游侧的多个第一过滤器的组合；以及第二泵过滤器组，其是第二泵和设置于其下游侧的多个第二过滤器的组合，所述第一泵过滤器组和所述第二泵过滤器组以所述第一泵过滤器组位于比所述第二泵过滤器组靠上游侧处的方式串联地配置于所述循环通路。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京毅力科创株式会社 处理液供给系统及其运转方法

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