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【发明授权】用于压电驱动移相器的压电驱动单元及其装配预紧工艺_中国科学技术大学_202410162833.1 

申请/专利权人:中国科学技术大学

申请日:2024-02-05

公开(公告)日:2024-04-23

公开(公告)号:CN117713583B

主分类号:H02N2/04

分类号:H02N2/04;H02N2/06;H02N2/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.23#授权;2024.04.02#实质审查的生效;2024.03.15#公开

摘要:本发明公开了一种用于压电驱动移相器的压电驱动单元及其装配预紧工艺,该压电驱动器单元包括固定嵌设于移动端板底部端面内的压电堆定位套、活动套设于压电堆定位套顶部内的压电堆、活动套设于压电堆定位套内并与压电堆底端相抵的压电堆顶柱和活动套设在压电堆顶柱底端外侧的胀紧套,胀紧套嵌设于固定端板的底部端面内,且通过胀紧螺栓旋紧作用后,胀紧套外圆周膨胀变形而固定于固定端板内,使压电堆顶柱固定于压电堆定位套内。本发明通过压电堆栈驱动实现移相器的位移输出,利用精密电容位移传感器探测压电堆栈驱动器的实时位移,通过闭环控制回路补偿位移,实现移相器长期位置稳定、运动无漂移和滞后的运行。

主权项:1.一种用于压电驱动移相器的压电驱动单元,应用于该压电驱动单元的压电驱动机械式移相器包括固定端板(1)、连接于固定端板(1)顶部端面上的移动端板(2)、固定连接于固定端板(1)底部端面上的后盖板(3),所述固定端板(1)、移动端板(2)和后盖板(3)的中心处均开设有同轴且等直径的通孔,其特征在于:所述固定端板(1)的底部端面内嵌设有压电驱动器单元(4),所述压电驱动器单元(4)的数量为三个,且围绕通孔的轴线均匀分布;所述压电驱动器单元(4)包括固定嵌设于移动端板(2)底部端面内的压电堆定位套(41)、活动套设于压电堆定位套(41)顶部内的压电堆(42)、活动套设于压电堆定位套(41)内并与压电堆(42)底端相抵的压电堆顶柱(43)和活动套设在压电堆顶柱(43)底端外侧的胀紧套(44),所述胀紧套(44)嵌设于固定端板(1)的底部端面内,且通过胀紧螺栓(45)旋紧作用后,胀紧套(44)外圆周膨胀变形而固定于固定端板(1)内,从而使压电堆顶柱(43)的一端固定于固定端板(2)内、另一端悬置于压电堆定位套(41)内;所述压电堆定位套(41)与移动端板(2)相配合的一端开设有与压电堆(42)相匹配的安装孔(411),压电堆(42)位于安装孔(411)内,压电堆定位套(41)的另一端开设有与压电堆顶柱(43)相匹配的套接孔(412),压电堆顶柱(43)位于套接孔(412)内。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国科学技术大学 用于压电驱动移相器的压电驱动单元及其装配预紧工艺

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