申请/专利权人：昆山龙腾光电股份有限公司

申请日：2023-09-19

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN220829941U

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01L21/673;H01L21/687;H01L33/00;H10K71/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权

摘要：本实用新型涉及基板加工技术领域，公开一种基板承载及取放装置。其中基板承载及取放装置包括卡匣和取放模块，卡匣用于承载基板，卡匣包括相对设置的两个侧板，两个侧板相对的一侧均沿竖直方向对应设置有多个承载板，基板放置于承载板上；两个侧板相背一侧沿竖直方向间隔设置有多个定位板；取放模块包括取放本体，以及设置于取放本体上的取放平台和定位件，取放本体能相对卡匣靠近或远离，定位件能置于相邻两个定位板之间，取放平台能置于相邻承载板之间，且取放平台能相对于取放本体沿竖直方向滑动设置，以承载基板。本实用新型结构简单，取放过程更加便捷，良品率更高，成本更低。

主权项：1.基板承载及取放装置，其特征在于，包括：卡匣100，用于承载基板，所述卡匣100包括相对设置的两个侧板110，两个所述侧板110相对的一侧均沿竖直方向对应设置有多个承载板111，基板放置于所述承载板111上；两个所述侧板110相背一侧沿竖直方向间隔设置有多个定位板112；取放模块200，包括取放本体210，以及设置于所述取放本体210上的取放平台220和定位件230，所述取放本体210能相对所述卡匣100靠近或远离，所述定位件230置于相邻两个所述定位板112之间，所述取放平台220置于相邻两个所述承载板111之间，且所述取放平台220能相对于所述取放本体210沿竖直方向滑动设置，以承载所述基板。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 昆山龙腾光电股份有限公司 基板承载及取放装置

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