申请/专利权人：青岛高测科技股份有限公司

申请日：2023-10-10

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN220825766U

主分类号：B24B9/06

分类号：B24B9/06;B24B49/12;B24B41/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权

摘要：本实用新型涉及加工设备技术领域，具体涉及一种寻边检测装置及包括该寻边检测装置的倒角机。本实用新型旨在解决现有的寻边检测装置无法调节寻边检测构件与承载装置之间的水平距离，导致寻边检测装置的适用范围受限的问题。为此，本申请的寻边检测装置包括固定构件、承载组件、平移组件以及安装在平移组件上的寻边检测构件，承载组件用于承载待检测件且能够带着待检测件旋转，平移组件能够相对于固定构件沿水平方向移动。通过在固定构件上设置平移组件，并将寻边检测构件安装在平移组件上，能够通过平移组件来调节寻边检测构件与承载组件之间的水平距离，使得寻边检测装置能够对不同尺寸的晶圆进行寻边检测，提高了寻边检测装置的适用范围。

主权项：1.一种寻边检测装置，其特征在于，所述寻边检测装置包括固定构件以及安装在所述固定构件上的承载组件、平移组件以及安装在所述平移组件上的寻边检测构件，所述承载组件用于承载待检测件且能够带着待检测件旋转，所述平移组件能够相对于所述固定构件沿水平方向移动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 青岛高测科技股份有限公司 寻边检测装置及包括该寻边检测装置的倒角机

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