申请/专利权人:三星显示有限公司
申请日:2023-05-08
公开(公告)日:2024-04-16
公开(公告)号:CN220788794U
主分类号:C23C26/00
分类号:C23C26/00
优先权:["20220727 KR 10-2022-0093502"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.16#授权
摘要:提供了沉积设备。沉积设备包括:板;多个静电卡盘,该多个静电卡盘包括:第一表面;以及第二表面,基板被支撑在第二表面上;以及控制装置,该控制装置控制多个静电卡盘之间的平坦度,并且多个静电卡盘中的每个包括布置成穿过多个静电卡盘中的每个的第一表面的边缘的区域的多个驱动轴,并且控制装置通过测量多个静电卡盘之间的高度偏差经由多个驱动轴来控制多个静电卡盘之间的平坦度。
主权项:1.一种沉积设备,其特征在于,包括:板;多个静电卡盘,所述多个静电卡盘包括:第一表面,以及第二表面,基板被支撑在所述第二表面上;以及控制装置,所述控制装置控制所述多个静电卡盘之间的平坦度,其中,所述多个静电卡盘中的每个包括布置成穿过所述多个静电卡盘中的每个的所述第一表面的边缘的区域的多个驱动轴,并且所述控制装置通过测量所述多个静电卡盘之间的高度偏差经由所述多个驱动轴来控制所述多个静电卡盘之间的平坦度。
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