申请/专利权人：皖江新兴产业技术发展中心;中国科学院合肥物质科学研究院

申请日：2023-12-11

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN117907240A

主分类号：G01N21/17

分类号：G01N21/17;G01N21/01;G01N1/24;G01D21/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.07#实质审查的生效;2024.04.19#公开

摘要：本发明提供了一种COS痕量气体检测装置，属于痕量气体检测领域，包括腔室结构、温度控制模块、第一风扇和第二风扇，温度控制模块用于维持腔室结构的内外温差，第一温湿度传感器位于腔室结构内部，第二温湿度传感器位于腔室结构外部，半导体制冷片位于腔室结构上，第一风扇位于腔室结构的进气口，用于保持腔室结构处于空气流通状态，第二风扇位于腔室结构内部，用于维持腔室结构内部空气充分混合；还提供一种COS痕量气体检测方法，将叶片置于腔室结构内部，温度控制模块保证腔室内部温湿度与外界自然环境基本相同，第一风扇保证腔室结构处于空气流通状态，第二风扇确保腔室结构内部空气充分混合，实现对叶片尺度下的COS痕量气体的精准检测。

主权项：1.一种COS痕量气体检测装置，其特征在于：包括腔室结构10、温度控制模块20、第一风扇30和第二风扇40，温度控制模块20用于维持腔室结构10的内外温差，包括第一温湿度传感器21、第二温湿度传感器22和半导体制冷片23，所述第一温湿度传感器21位于腔室结构10内部，第二温湿度传感器23位于腔室结构10外部，半导体制冷片23位于腔室结构10上，第一风扇30位于腔室结构10的进气口，用于保持腔室结构10处于空气流通状态，第二风扇40位于腔室结构10内部，用于维持腔室结构10内部空气充分混合。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 皖江新兴产业技术发展中心;中国科学院合肥物质科学研究院 一种COS痕量气体检测装置及检测方法

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