申请/专利权人：深圳市原速科技有限公司

申请日：2023-12-06

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117926222A

主分类号：C23C16/455

分类号：C23C16/455;C23C16/458

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本发明公开了一种加工平台及镀膜设备。加工平台在第一方向的其中一侧设置有承载侧，承载侧具有承载面，承载面用于与基材接触，加工平台设置有出气通道，出气通道包括出气口，出气口位于承载面的周向外侧，出气通道用于通入隔离气体。将出气口设置于承载面的周向外侧，可以使得出气通道所通入的隔离气体流向基材的周向边缘，以通过隔离气体限制前驱体和反应物的分布，使得前驱体和反应物落在镀膜面上，减小绕镀现象出现的几率，确保镀膜均匀性，提高生产良率。

主权项：1.加工平台，其特征在于，所述加工平台在第一方向的其中一侧设置有承载侧，所述承载侧具有承载面，所述承载面用于与基材接触，所述加工平台设置有出气通道，所述出气通道包括出气口，所述出气口位于所述承载面的周向外侧，所述出气通道用于通入隔离气体。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市原速科技有限公司 加工平台及镀膜设备

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