申请/专利权人：南京元感微电子有限公司

申请日：2024-03-07

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117923415A

主分类号：B81B7/00

分类号：B81B7/00;B81B3/00;B81B7/02;G01C19/5733

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本发明涉及微机械结构技术领域，公开一种防过载冲击的微机械结构，包括：固定框；缓冲组件，包括变形壁、压阻区域及交换块组，变形壁固定在固定框上且两者围成隔离的阻尼腔和真空腔，至少部分变形壁沿第一方向和第二方向中的至少一个方向延伸，压阻区域形成在变形壁上，交换块组位于真空腔内且与变形壁弹性连接；微机械单元，位于真空腔内且包括质量块；泄载块，与微机械单元连接且能够撞击交换块组以使变形壁发生变形，泄载块的质量和与该泄载块对应的能够沿第一方向或第二方向的可动的质量块的质量之和大于与泄载块对应的交换块组的质量。本发明公开的防过载冲击的微机械结构降低了因关键部件损坏而使得陀螺仪的精度下降甚至损坏的概率。

主权项：1.一种防过载冲击的微机械结构，其特征在于，包括：固定框；缓冲组件，包括变形壁、压阻区域及交换块组，所述变形壁固定在所述固定框上且两者围成隔离的阻尼腔和真空腔，所述阻尼腔内填充有阻尼气体，至少部分所述变形壁沿第一方向和第二方向中的至少一个方向延伸，所述压阻区域形成在所述变形壁上，所述交换块组位于所述真空腔内且与所述变形壁弹性连接，所述交换块组能够沿垂直于所述变形壁的方向运动；微机械单元，位于所述真空腔内且包括若干个质量块，所述质量块能够沿第一方向和第二方向中的至少一个方向运动，所述变形壁的第一等效刚度大于所述微机械单元的第二等效刚度；泄载块，与所述质量块连接且能够撞击所述交换块组以使所述变形壁发生变形，所述压阻区域的阻值随所述变形壁的变形而变化，所述泄载块的质量和与所述泄载块对应的能够沿第一方向或第二方向的可动的所述质量块的质量之和大于与所述泄载块对应的所述交换块组的质量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京元感微电子有限公司 一种防过载冲击的微机械结构

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