申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

申请日：2022-10-17

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117919792A

主分类号：B01D19/02

分类号：B01D19/02;B08B3/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本申请公开了一种除泡装置、清洗介质循环装置、清洗装置及清洗方法，除泡装置用于打碎流体中的气泡，包括：腔体，包括流体入口和流体出口；支架，设置在所述腔体的内部；转轴，与所述支架连接，并且相对所述支架可转动；至少一个叶轮，设置于所述转轴靠近所述流体入口的一端，并在流体流经所述腔体的时候，带动所述转轴转动；至少一个搅拌桨，与所述转轴连接，并在所述转轴转动时，绕所述转轴旋转。本申请不需要采用预充洗进行除泡的前置工序，可以提高清洗效率，增大设备产能，增加清洗介质的有效使用时间，从而可以降低制造成本。

主权项：1.一种除泡装置，用于打碎流体中的气泡，其特征在于，包括：腔体，包括流体入口和流体出口；支架，设置在所述腔体的内部；转轴，与所述支架连接，并且相对所述支架可转动；至少一个叶轮，设置于所述转轴靠近所述流体入口的一端，并在流体流经所述腔体的时候，带动所述转轴转动；至少一个搅拌桨，与所述转轴连接，并在所述转轴转动时，绕所述转轴旋转。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 除泡装置、清洗介质循环装置、清洗装置及清洗方法

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