申请/专利权人：罗伯特·博世有限公司

申请日：2023-10-24

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117923422A

主分类号：B81C3/00

分类号：B81C3/00

优先权：["20221025 US 17/973217"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.26#公开

摘要：微机械装置的通气孔利用激光照射来密封。微机械装置具有衬底，诸如硅。该衬底具有上表面，并且限定：通气孔，其通向包含装置的腔室；以及沟槽，其从上表面向下延伸并定位成从通气孔偏移。激光脉冲在沟槽处或沟槽内被施加到衬底。这引起衬底的位于上表面下方的一部分熔化并侧向地行进，以从上表面下面侧向地封闭住和密封通气孔。

主权项：1.一种密封微机械装置的通气孔的方法，所述方法包括：提供具有衬底的微机械装置，所述衬底具有上表面，并且所述衬底限定：通气孔，其通向腔室，以及沟槽，其从所述上表面向下延伸并定位成从所述通气孔偏移；以及将激光脉冲施加到所述沟槽以对所述衬底执行激光照射，其中，所述施加引起所述衬底的位于所述上表面下方的一部分熔化并侧向地和从所述上表面下面来密封所述通气孔。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 罗伯特·博世有限公司 用于封闭微机械装置的通气孔的激光密封方法

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