申请/专利权人：细美事有限公司

申请日：2023-07-13

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117936408A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/677

优先权：["20221025 KR 10-2022-0138707"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.26#公开

摘要：本发明公开裸片键合机以及裸片键合机的缓冲装置。本发明包括通过旋转驱动单元以轴为中心旋转的旋转裸片台。旋转裸片台具有支承裸片的裸片支承部分。裸片支承部分根据旋转裸片台的旋转依次位于第一传送位置、裸片检查位置以及第二传送位置。本发明还包括构成为利用单个相机模组拍摄裸片支承部分移送到裸片检查位置的裸片的第一面并拍摄键合头从第二传送位置拾取的裸片的第二面的裸片视觉单元。

主权项：1.一种裸片键合机的缓冲装置，包括：旋转裸片台，通过旋转驱动单元旋转，并具有沿着旋转中心周围的外周区域排列的裸片支承部分，所述裸片支承部分依次位于第一传送位置、裸片检查位置以及第二传送位置而移送裸片；以及裸片视觉单元，将通过所述裸片支承部分移送到所述裸片检查位置的所述裸片的第一面通过直接朝向的第一拍摄路径拍摄，将通过键合单元从所述第二传送位置拾取的所述裸片的第二面通过经过所述旋转裸片台的内部的第二拍摄路径拍摄。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 细美事有限公司 裸片键合机以及裸片键合机的缓冲装置

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