申请/专利权人：精工爱普生株式会社

申请日：2021-10-26

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117928507A

主分类号：G01C19/5614

分类号：G01C19/5614;B81B7/02;G01C19/5776

优先权：["20201028 JP 2020-180122"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：物理量传感器、物理量传感器器件以及惯性测量装置，能同时实现高灵敏度化和低阻尼化。物理量传感器1包含：基板2，其设置有第1固定电极24；可动体3，其包含与第1固定电极对置的第1质量部34。第1质量部包含第1区域61和远离旋转轴AY的第2区域62，在第1、第2区域分别设置有第1、第2贯通孔组，可动体包含基板侧的第1面6和第2面7。在第1质量部的第1面，设置有用于使第1区域中的第1质量部与第1固定电极间的第1空隙的第1间隙距离小于第2区域中的第1质量部与第1固定电极间的第2空隙的第2间隙距离的阶梯差或斜面。第1和第2贯通孔组的贯通孔的深度小于可动体的最大厚度。

主权项：1.一种物理量传感器，其特征在于，在将相互垂直的3个轴设为X轴、Y轴以及Z轴时，该物理量传感器包含：基板；第1固定电极，其在从沿着所述Z轴的Z轴方向俯视时与所述基板重叠地设置；以及可动体，其包含在所述Z轴方向上与所述第1固定电极对置的第1质量部，该可动体被设置为能够以沿着所述Y轴的旋转轴为中心相对于所述基板摆动，所述第1质量部包含：第1区域；以及第2区域，其比所述第1区域离所述旋转轴远，在所述第1区域设置有第1贯通孔组，在所述第2区域设置有第2贯通孔组，所述可动体包含：第1面，其是所述基板侧的面；以及第2面，其是相对于所述第1面靠反面侧的面，在所述第1质量部的所述第1面，设置有用于使第1空隙在所述Z轴方向上的第1间隙距离小于第2空隙在所述Z轴方向上的第2间隙距离的阶梯差或者斜面，所述第1空隙是所述第1区域中的所述第1质量部与所述第1固定电极之间的空隙，所述第2空隙是所述第2区域中的所述第1质量部与所述第1固定电极之间的空隙，所述第1区域与所述第1固定电极对置，所述第2区域与所述第1固定电极对置，所述第1固定电极是与所述第1质量部形成静电电容的第1检测电极。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 精工爱普生株式会社 物理量传感器、物理量传感器器件以及惯性测量装置

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