申请/专利权人：湖州迈塔兰斯科技有限公司

申请日：2024-01-29

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117930402A

主分类号：G02B3/00

分类号：G02B3/00;G02B1/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本申请提供了一种双面超透镜的加工方法、装置及一种双面超透镜。本申请所提供方法包括：在第一中间晶圆上制备第一结构层，并对第一结构层进行光刻、刻蚀，得到第一结构面；将第一结构面从第一中间晶圆转移至目标晶圆的第一表面；在第二中间晶圆上制备第二结构层，并对第二结构层进行光刻、刻蚀，得到第二结构面；将第二结构面从第二中间晶圆转移至目标晶圆的第二表面；目标晶圆、第一结构面以及第二结构面共同构成双面超透镜。本申请所提供方法不仅降低了结构层的制备难度，而且还降低了加工过程中目标晶圆的损坏可能性，从而提高了双面超透镜的成品率。

主权项：1.一种双面超透镜的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括：在第一中间晶圆上制备第一结构层，并对所述第一结构层进行光刻、刻蚀，得到第一结构面；将所述第一结构面从所述第一中间晶圆转移至目标晶圆的第一表面；在第二中间晶圆上制备第二结构层，并对所述第二结构层进行光刻、刻蚀，得到第二结构面；将所述第二结构面从所述第二中间晶圆转移至所述目标晶圆的第二表面；所述目标晶圆、所述第一结构面以及所述第二结构面共同构成双面超透镜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 湖州迈塔兰斯科技有限公司 一种双面超透镜的加工方法、装置及一种双面超透镜

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