申请/专利权人：四川大学

申请日：2024-02-05

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117939769A

主分类号：H05H7/00

分类号：H05H7/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本发明涉及束流引出技术领域，公开了一种束流引出装置。该束流引出装置包括引出管道、钛膜以及盲板法兰；引出管道的一端与离子加速器的出口连接，引出管道的另一端依次设置钛膜和盲板法兰；盲板法兰具有束流引出区域，束流引出区域开设有多个孔洞，多个孔洞沿多个圆周线排布，多个圆周线分别与多个同心圆对应，多个孔洞中，至少部分孔洞的孔径沿束流方向逐渐增大。通过在盲板法兰上设置孔径沿束流方向逐渐增大的孔洞，以及设置多个孔洞，使得在引出束流时，可以减少能量损失；同时，还可以提高靶上能量沉积的均匀程度。

主权项：1.一种束流引出装置，其特征在于，所述束流引出装置包括引出管道、钛膜以及盲板法兰；所述引出管道的一端与离子加速器的出口连接，所述引出管道的另一端依次设置所述钛膜和所述盲板法兰；所述盲板法兰具有束流引出区域，所述束流引出区域开设有多个孔洞，所述多个孔洞沿多个圆周线排布，所述多个圆周线分别与多个同心圆对应，所述多个孔洞中，至少部分孔洞的孔径沿束流方向逐渐增大。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 四川大学 束流引出装置

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