申请/专利权人：瑞尼斯豪公司

申请日：2022-09-08

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117940733A

主分类号：G01B5/012

分类号：G01B5/012;G01B7/016

优先权：["20210909 EP 21195847.5"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：描述了一种用于坐标定位设备比如机床的扫描探针，该扫描探针包括探针本体，该探针本体通过应变感测结构100连接到触针支架102。应变感测结构具有内部部分202，该内部部分通过多个可弯折构件204连接到外部部分200。每个可弯折构件204的近侧端部220附接到内部部分202，每个可弯折构件204的远侧端部222附接到外部部分200。内部部分和外部部分200，202以中心轴线为中心，并且多个可弯折构件204包括至少一个应变感测元件210。每个可弯折构件204的近侧端部和远侧端部220，222绕中心轴线以不同角度定位。这种布置使得能够获取扫描测量和接触触发式测量两者。

主权项：1.一种用于坐标定位设备的扫描探针，包括：探针本体；触针支架，以及应变感测结构，所述应变感测结构将所述触针支架连接到所述探针本体，所述应变感测结构具有内部部分，所述内部部分通过多个可弯折构件连接到外部部分，每个可弯折构件的近侧端部附接到所述内部部分，每个可弯折构件的远侧端部附接到所述外部部分，所述内部部分和所述外部部分以中心轴线为中心，并且所述多个可弯折构件包括至少一个应变感测元件，其中，每个可弯折构件的近侧端部和远侧端部绕所述中心轴线以不同角度定位，并且每个可弯折构件在所述应变感测结构的平面中弯曲。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 瑞尼斯豪公司 扫描探针

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