申请/专利权人：浙江求是创芯半导体设备有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117936340A

主分类号：H01J37/04

分类号：H01J37/04;H01J37/21;H01J37/317

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本申请公开了一种离子加速装置，其包括第一加速电极和第二加速电极；第一加速电极包括弧形的第一加速面板，第一加速电极上形成有可供离子束穿过的第一豁口，第一豁口构成于第一加速面板内；第二加速电极包括弧形的第二加速面板，第二加速电极上形成有可供离子束穿过的第二豁口，第二豁口构成于第二加速面板内；当离子束穿过第一豁口而经由第二豁口离开时，第一加速电极和第二加速电极之间形成的电位对离子束进行加速；第一加速面板和第二加速面板的弧心均背离离子束的射入点，其中，第一加速面板的曲面斜率和第二加速面板的曲面斜率不同。上述设置的离子加速装置结构简单，解决了离子束发散角度过大的问题同时，对离子束的能量损耗较小。

主权项：1.一种离子加速装置，其特征在于，包括：第一加速电极12，包括弧形的第一加速面板122，所述第一加速电极12上形成有可供离子束穿过的第一豁口121，所述第一豁口121构成于所述第一加速面板122内；第二加速电极13，包括弧形的第二加速面板132，所述第二加速电极13上形成有可供所述离子束穿过的第二豁口131，所述第二豁口131构成于所述第二加速面板132内，且第二豁口131与所述第一豁口121沿所述离子束的加速方向对齐；当所述离子束穿过所述第一豁口121而经由所述第二豁口131离开时，所述第一加速电极12和所述第二加速电极13之间形成的电位对所述离子束进行加速；所述第一加速面板122和所述第二加速面板132的弧心均背离所述离子束的射入点，其中，所述第一加速面板122的曲面斜率和所述第二加速面板132的曲面斜率不同。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江求是创芯半导体设备有限公司 离子加速装置及离子注入机

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