申请/专利权人:上海康碳复合材料科技有限公司;上海康碳创达新材料科技有限公司
申请日:2024-01-19
公开(公告)日:2024-04-26
公开(公告)号:CN117923934A
主分类号:C04B35/83
分类号:C04B35/83;C04B35/52;C04B35/622
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开
摘要:本发明属于碳碳复合材料技术领域,具体涉及一种碳碳复合材料制品及其制备方法。本发明通过气相沉积增密、树脂浸渍‑碳化增密和纯化工艺制备得到高密度、高透气性的碳碳复合材料制品,所述制品可以为透气环,该碳碳复合材料的透气环更符合半导体产业的使用要求,同时其热场力学性能更高,热变形量低,导热性能更优越,使用寿命更长,能耗更低,可降低企业生产成本,满足日益增长的半导体产业配件需求。
主权项:1.一种碳碳复合材料制品的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:将碳纤维预制体依次进行第一热处理和粗加工,得到碳材料制品粗坯;将所述碳材料制品粗坯依次进行化学气相沉积碳增密和石墨化热处理,得到石墨化粗坯;将所述石墨化粗坯依次进行树脂浸渍-碳化增密、第二热处理和精加工,得到成品坯;将所述成品坯在提纯气体和保护气的混合气氛下循环进行纯化处理,得到所述碳碳复合材料制品。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 上海康碳复合材料科技有限公司;上海康碳创达新材料科技有限公司 一种碳碳复合材料制品及其制备方法
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