申请/专利权人：爱克斯瑞真空技术(苏州)有限公司

申请日：2024-01-29

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117928899A

主分类号：G01M11/02

分类号：G01M11/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本发明公开了微焦斑测试装置及测试方法；包括工作台，所述工作台的顶端固定设置有直线光轴导轨，所述直线光轴导轨的一侧设置有线性导轨模组，所述线性导轨模组包括第一线性导轨模组和第二线性导轨模组，所述第一线性导轨模组顶端固定有JIAM卡，所述第二线性导轨模组顶端固定有CMOS探测器通过该装置能够快速并准确的计算出微焦点大小；有利于微焦源整机产品的焦点测试并制定测试标准；测试环境的一致性，可以很大程度上降低主观测试误差；用JIMA卡工具评定焦点精度，可以保证微焦源整机的一致性等的优点，同时装置操作便捷，工艺简单。

主权项：1.微焦斑测试装置，包括工作台9，其特征在于：所述工作台9的顶端固定设置有直线光轴导轨7，所述直线光轴导轨7的一侧设置有线性导轨模组4，所述线性导轨模组4包括第一线性导轨模组41和第二线性导轨模组42，所述第一线性导轨模组41顶端固定有JIAM卡5，所述第二线性导轨模组42顶端固定有CMOS探测器6。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 爱克斯瑞真空技术(苏州)有限公司 微焦斑测试装置及测试方法

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