申请/专利权人：中微半导体设备(上海)股份有限公司

申请日：2022-10-14

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117926221A

主分类号：C23C16/455

分类号：C23C16/455;C23C16/46;C23C16/505;C23C16/511;C23C16/30;C23C16/40

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本发明公开了一种形成耐腐蚀涂层的装置及形成耐腐蚀涂层的方法。该装置包含：反应室；第一加热器，设置在反应室内，零部件本体设置在第一加热器的加热面，零部件本体包括待处理面；气体输送入口，用于向反应室内输送稀土前驱体、气体分散剂和源前驱体；气体出口，其与气体输送入口设于所述反应室相对的两侧，沿气体输送入口至气体出口的方向，所述零部件本体与第二加热器的表面之间的距离逐渐减小。采用本发明的装置形成的耐腐蚀涂层，在严苛的等离子体腐蚀环境中不易产生微颗粒污染，能满足先进制程需求。

主权项：1.一种形成耐腐蚀涂层的装置，其特征在于，包括：反应室；第一加热器，设置在所述反应室内，零部件本体设置在所述第一加热器的加热面，所述零部件本体包括待处理面；气体输送入口，用于向所述反应室内输送稀土前驱体、气体分散剂和源前驱体，所述稀土前驱体包括相互键合的亲水端和亲油端，所述亲水端包括稀土金属，所述气体分散剂用于对亲水端和亲油端进行梳理，所述第一加热器用于对零部件本体加热使所述亲油端断裂，所述亲水端与源前驱体在所述待处理面上沉积形成含有稀土元素的耐腐蚀涂层；气体出口，其与气体输送入口设于所述反应室相对的两侧，沿气体输送入口至气体出口的方向，所述零部件本体与第二加热器的表面之间的距离逐渐减小。

全文数据：

权利要求：

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