申请/专利权人：业成光电(深圳)有限公司;业成科技(成都)有限公司;英特盛科技股份有限公司

申请日：2024-01-09

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117926205A

主分类号：C23C14/56

分类号：C23C14/56;C23C14/34;C23C14/24;C23C14/58;C23C14/14

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本申请涉及一种膜材抗反射抗指纹的镀膜系统、镀膜结构及其制作方法。膜材抗反射抗指纹的镀膜系统包括镀膜装置、滚筒结构、膜材、至少一第一溅镀靶材、至少一第二溅镀靶材、表面处理装置以及蒸镀装置。镀膜装置设有多个壁面，多个壁面围绕形成一腔体，滚筒结构设置于镀膜装置的腔体中央，滚筒结构具有外轮廓，外轮廓具有第一端以及第二端；膜材经由滚筒结构沿着外轮廓的外表面移动。第一溅镀靶材固设于镀膜装置的腔体内其中一壁面上，第二溅镀靶材固设于镀膜装置的腔体内其中一壁面上，表面处理装置固设于镀膜装置的腔体内其中一壁面上，蒸镀装置固设于镀膜装置的腔体内其中一壁面上，可使膜材进行镀膜时不受到物理空间限制。

主权项：1.一种膜材抗反射抗指纹的镀膜系统，其特征在于，包括：镀膜装置，所述镀膜装置设有多个壁面，所述多个壁面围绕形成一腔体；滚筒结构，所述滚筒结构设置于所述镀膜装置的腔体中央，所述滚筒结构具有外轮廓，所述外轮廓具有第一端以及第二端；膜材，所述膜材经由所述滚筒结构沿着所述外轮廓的外表面移动；至少一第一溅镀靶材，所述第一溅镀靶材固设于所述镀膜装置的腔体内其中一壁面上；至少一第二溅镀靶材，所述第二溅镀靶材固设于所述镀膜装置的腔体内其中一壁面上；表面处理装置，所述表面处理装置固设于所述镀膜装置的腔体内其中一壁面上；以及蒸镀装置，所述蒸镀装置固设于所述镀膜装置的腔体内其中一壁面上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 业成光电(深圳)有限公司;业成科技(成都)有限公司;英特盛科技股份有限公司 膜材抗反射抗指纹的镀膜系统、镀膜结构及其制作方法

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