申请/专利权人:中国科学院上海高等研究院
申请日:2024-01-24
公开(公告)日:2024-04-26
公开(公告)号:CN117937226A
主分类号:H01S4/00
分类号:H01S4/00;G03F7/20
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开
摘要:本发明提供一种基于振荡器的谐波辐射光源装置,包括一个谐振腔、设于谐振腔的腔体内的多节波荡器;波荡器设置为接收高重频的中低能电子束,高重频的中低能电子束按照其运动轨道经过波荡器,在波荡器的磁场和谐振腔内的辐射光的作用下,高重频的中低能电子束经过能量调制、密度调制后产生辐射光,辐射光包括基波波长和谐波波长;谐振腔将辐射光中的谐波波长的部分反射到达波荡器的入口处,以使得中低能电子束受到辐射光的能量调制。本发明的基于振荡器的谐波辐射光源装置由于采用谐波作为所需的极紫外光,谐波辐射情况下,所需要的电子束能量相应的减小,这可以减小装置的占地面积,相对于基波辐射来说更紧凑。
主权项:1.一种基于振荡器的谐波辐射光源装置,其特征在于,包括一个谐振腔、设于谐振腔的腔体内的多节波荡器;所述波荡器设置为接收高重频的中低能电子束,高重频的中低能电子束按照其运动轨道经过波荡器,在波荡器的磁场和谐振腔内的辐射光的作用下,高重频的中低能电子束经过能量调制、密度调制后产生辐射光,辐射光包括基波波长和谐波波长;所述谐振腔设置为将出射的辐射光中的谐波波长的部分反射到达波荡器的入口处,以使得高重频的中低能电子束受到所述辐射光的能量调制。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 中国科学院上海高等研究院 一种基于振荡器的谐波辐射光源装置
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