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【发明公布】分步式全自动晶棒粘晶加工生产线布局及晶棒加工工艺_珠海市华亚机械科技有限公司_202410299182.0 

申请/专利权人:珠海市华亚机械科技有限公司

申请日:2024-03-15

公开(公告)日:2024-04-26

公开(公告)号:CN117921874A

主分类号:B28D5/00

分类号:B28D5/00

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要:本发明旨在提供一种分步式全自动晶棒粘晶加工生产线布局及晶棒加工工艺。本发明布局包括晶托清洗产线(1)、压合固化线(2)、晶棒上料线(3)、储料线(4)和柔性工装(5);晶棒加工工艺包括以下步骤:a、生产线上电;b、柔性工装携带晶托到达晶托涂胶工位(21)处涂抹胶水;c、树脂板定位固定于晶托上;d、树脂板配重压合在树脂板上;e、树脂板上涂抹胶水;f、晶棒上料并定位压合于树脂板上;g、晶棒配重压合在晶棒上;h、移送至储料线进行储料;i、柔性工装通过工装接驳线(29)回流至压合固化线的起始点处;j、重复上述b~i的步骤,直至完成所有晶棒的粘晶加工。本发明应用于晶棒高精度加工技术领域。

主权项:1.一种分步式全自动晶棒粘晶加工生产线布局,其特征在于,该布局中包括用于对晶托进行清洁处理的晶托清洗产线(1);用于将晶托、树脂板和晶棒精准对位粘合压紧固化的压合固化线(2),在所述压合固化线(2)上依次设置有晶托涂胶工位(21)、树脂板上料工位(22)、树脂板配重回流线(23)、树脂板涂胶工位(24)、晶棒配重回流线(25);用于对晶棒进行预处理并将晶棒输送至所述压合固化线(2)的晶棒上料线(3),所述晶棒上料线(3)通过第二移载接驳线(26)连接于所述压合固化线(2)上的所述树脂板涂胶工位(24)之后;用于储存经过所述压合固化线(2)压紧固化为一体的晶托、树脂板和晶棒的储料线(4),所述储料线(4)通过第三移载接驳线(27)连接于所述压合固化线(2)上的所述晶棒配重回流线(25)之后;以及用于在所述压合固化线(2)上运送晶托、树脂板和晶棒的柔性工装(5);所述晶托清洗产线(1)、所述压合固化线(2)、所述晶棒上料线(3)及所述储料线(4)上的每个工位和所述柔性工装(5)上均设置有相互对应的识别装置;经过所述晶托清洗产线(1)清洁后的晶托通过第一移载接驳线(28)移送至所述压合固化线(2)的晶托接入口处并定位固定于所述柔性工装(5)上,在所述第三移载接驳线(27)的后端和所述第一移载接驳线(28)连接于所述压合固化线(2)的连接点的前端之间设置有工装接驳线(29),所述压合固化线(2)与所述工装接驳线(29)构成工装循环回流线。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 珠海市华亚机械科技有限公司 分步式全自动晶棒粘晶加工生产线布局及晶棒加工工艺

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