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【发明授权】光学测量装置_普莱斯泰克光电子有限公司_202010758298.8 

申请/专利权人:普莱斯泰克光电子有限公司

申请日:2020-07-31

公开(公告)日:2024-04-26

公开(公告)号:CN112432600B

主分类号:G01B11/06

分类号:G01B11/06;G01B11/14;G01B11/24

优先权:["20190826 DE 102019122866.2"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.26#授权;2022.08.05#实质审查的生效;2021.03.02#公开

摘要:本发明涉及一种用于对测量对象的距离和或厚度进行测量的光学测量装置。第一光源发射穿过第一光波导体的多色测量光,该第一光波导体的端部形成第一共焦孔。成像光学器件将第一共焦孔成像到测量范围中,不同波长聚焦在不同高度。由测量对象反射的测量光被再次成像回到第一共焦孔。接收和评估单元测量由测量对象反射的并穿过第一共焦孔返回的测量光的与波长相关的强度,并从中确定距离和或厚度。测量装置包括平行于第一光波导体被引导的第二光波导体,并且其端部代表第二共焦孔,第二光波导体的直径大于第一光波导体的直径。接收和评估单元还测量由测量对象反射的并穿过第二共焦孔返回的测量光的与波长相关的强度,并从中确定距离和或厚度。

主权项:1.一种用于对测量对象34的距离和或厚度进行测量的光学测量装置,包括:第一光源21,所述第一光源发射多色测量光,第一光波导体,测量光穿过所述第一光波导体并且所述第一光波导体的端部形成第一共焦孔,成像光学器件31,所述成像光学器件适合用于引起所述测量光的色聚焦偏移并且将所述第一共焦孔成像到测量范围中,其中,不同的波长聚焦在不同的高度,并且其中,由所述测量对象34反射的测量光被再次成像回到所述第一共焦孔或第三共焦孔55上,接收和评估单元39,所述接收和评估单元被设计用于测量由所述测量对象34反射的并且穿过所述第一共焦孔或所述第三共焦孔55返回的测量光的与波长相关的强度,并从中确定距离和或厚度,其特征在于,所述测量装置包括第二光波导体,所述第二光波导体平行于所述第一光波导体被引导,并且所述第二光波导体的端部形成第二共焦孔,其中,所述第二共焦孔的直径大于所述第一共焦孔的直径,并且所述接收和评估单元39也被设计用于测量由所述测量对象34反射的并且穿过所述第二共焦孔或第四共焦孔56返回的所述测量光的与所述波长相关的强度,并且从中确定距离和或厚度。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 普莱斯泰克光电子有限公司 光学测量装置

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