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【发明授权】表面除尘设备及其使用方法_深圳市凯中精密技术股份有限公司_201910842323.8 

申请/专利权人:深圳市凯中精密技术股份有限公司

申请日:2019-09-06

公开(公告)日:2024-04-26

公开(公告)号:CN110508564B

主分类号:B08B7/00

分类号:B08B7/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.26#授权;2019.12.24#实质审查的生效;2019.11.29#公开

摘要:本发明提供了一种表面除尘设备及其使用方法,包括传动机构、除尘辊组机构和升降机构,传动机构用于带动基片的移动;除尘辊组机构包括分别位于传动机构的相对两侧的两个粘尘组件;每一粘尘组件均包括至少两个胶轮组;升降机构包括驱动胶轮组升降的若干升降件,升降件驱动位于同侧的胶轮组依次间隔与基片相抵接。本发明提供的表面除尘设备及其使用方法,通过两侧的粘尘组件同时对基板的两侧面进行吸附,达到较好的除尘效果,升降机构带动基片上侧或下侧的胶轮组依次间隔的与基片相接触,达到延长胶轮组单次寿命的目的,延长整个表面除尘设备的使用时间,避免停机时间过于频繁。

主权项:1.表面除尘设备,其特征在于:包括传动机构1,用于带动基片5的移动;除尘辊组机构2,包括分别位于所述传动机构1的相对两侧的两个粘尘组件21;每一所述粘尘组件21均包括至少两个胶轮组211,所述胶轮组211包括胶轮2111和粘尘纸滚轮2112,所述胶轮2111位于靠近所述传动机构1的一侧,且每一所述胶轮2111的外表面与所述粘尘纸滚轮2112的外表面相切,所述除尘辊组机构2还包括用于固定所述胶轮组211的两端的限位侧板22和连接两侧的所述限位侧板22的连接板23,所述限位侧板22与所述胶轮2111固定连接,所述限位侧板22上开设有供所述粘尘纸滚轮2112滑动的滑槽221,所述滑槽221内还穿设有阻挡所述粘尘纸滚轮2112的限位挡栓222,所述限位侧板22远离所述粘尘组件21的一侧设有移动把手223;所述传动机构1包括设于所述除尘辊组机构2一侧的传动轴11,所述传动轴11的两端与所述限位侧板22固定连接,且所述传动轴11上套设有滚动轴承12;所述除尘辊组机构2还包括分别驱动位于所述传动机构1两侧的所述胶轮组211转动的两个驱动组件24,所述驱动组件24包括驱动件241、设于所述驱动件241的输出轴轴端的主动轮242以及设于所述胶轮2111的端部的从动轮243,所述主动轮242和所述从动轮243通过链条244相连接,所述驱动组件24还包括用于张紧所述链条244的张紧轮245;以及升降机构3,包括驱动所述胶轮组211升降的若干升降件31,所述升降件31驱动位于同侧的所述胶轮组211依次间隔与所述基片5相抵接。

全文数据:

权利要求:

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