申请/专利权人：湖南德智新材料有限公司

申请日：2024-01-30

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117646195B

主分类号：C23C16/458

分类号：C23C16/458;C23C14/50;B05B13/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2024.03.22#实质审查的生效;2024.03.05#公开

摘要：本申请涉及薄膜制备技术领域，尤其涉及一种支撑机构、支撑装置和薄膜制备设备。该支撑机构包括：长条形的支撑件和旋转组件，基体的管状结构套设在支撑件上，旋转组件带动支撑件绕第一轴线旋转，在支撑件旋转的过程中，支撑件的与基体接触的初始表面相对支撑件自身会发生旋转，在基体自身的重力、以及支撑件与管状结构的内壁之间的摩擦力的作用下，支撑件能够相对于基体沿其管状结构的内壁发生滚动，以使支撑件与基体之间的接触位置发生变化，使得基体的表面可以在薄膜制备过程中能够完全裸露，使得薄膜制备设备可以一次性完成对基体的全表面的薄膜制备，简化了基体全表面薄膜制备的过程及工艺，并能够为不同形状的、数量更多的基体提供支撑。

主权项：1.一种支撑机构，其特征在于，应用于薄膜制备设备，所述薄膜制备设备用于对基体进行镀膜，所述支撑机构被配置为对所述基体进行支撑，所述基体包括管状结构；其中，所述支撑机构包括：长条形的支撑件，所述基体的管状结构套设在所述支撑件上；旋转组件，与所述支撑件连接，带动所述支撑件绕第一轴线旋转，所述第一轴线与所述支撑件的延伸方向平行；其中，在所述支撑件旋转的过程中，所述支撑件沿所述管状结构的内壁滚动，以使所述支撑件与所述基体之间的接触位置发生变化，所述支撑件上的每一点与所述第一轴线的距离均保持不变；其中，所述支撑件为丝状，丝状的所述支撑件一端与所述旋转组件连接，另一端穿过所述管状结构并与所述旋转组件连接，以利用所述旋转组件张紧丝状的所述支撑件；所述旋转组件包括平行设置的两个连接盘，两个所述连接盘形成第一容纳空间，所述第一容纳空间用于容纳所述支撑件和所述基体，所述连接盘绕所述第一轴线旋转；其中，所述支撑件具有第一端和第二端，所述第一端和所述第二端分别与两个所述连接盘可拆卸连接，以利用两个所述连接盘张紧丝状的所述支撑件；所述连接盘包括：环状主体和多个固定杆；其中，多个所述固定杆呈辐射状排布，多个所述固定杆的第一端均与所述环状主体连接，多个所述固定杆的第二端连接在一起；所述固定杆上包括多个第一凹槽；所述旋转组件还包括：平行设置的两个支撑盘，两个所述支撑盘之间形成第二容纳空间，用于容纳两个所述连接盘，所述支撑盘与所述连接盘平行设置且可拆卸连接；所述旋转组件还包括：多个连接杆，多个所述连接杆设置于两个所述支撑盘之间，每个所述连接杆的两端分别与两个所述支撑盘连接；其中，多个所述连接杆包括卡槽，所述连接盘的边缘插入所述卡槽；每个所述连接杆包括多个所述卡槽。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 湖南德智新材料有限公司 支撑机构、支撑装置和薄膜制备设备

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