申请/专利权人：安徽禾臣新材料有限公司

申请日：2022-07-26

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN115386297B

主分类号：C09G1/02

分类号：C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2022.12.13#实质审查的生效;2022.11.25#公开

摘要：本发明涉及一种晶片抛光用抛光液及其制备方法，抛光液包括抛光粉、去离子水、氧化剂、分散剂和pH调节剂，制备方法包括如下步骤：按照重量百分比将氧化剂加入去离子水中，然后加入抛光粉和分散剂，加入去离子水至所需体积，用pH调节剂调节pH值为4‑6，磁力搅拌10min，得到抛光液，本发明中制备了一种抛光粉，自制的改性剂在三氟乙酸的催化作用下，在磨粒表面发生溶胶‑凝胶反应，修饰后，抛光液的稳定性得到提高。制备的抛光粉不易发生团聚，加工表面不易产生划痕，抛光粉与晶片的总接触面积高，提高了抛光效率。

主权项：1.一种晶片抛光用抛光液，其特征在于，包括抛光粉、去离子水、氧化剂、分散剂和pH调节剂；所述抛光粉通过如下步骤制备：步骤一、在温度为0℃条件下，将支化单体和二氯甲烷混合，然后加入三乙胺和4-二甲氨基吡啶，然后滴加2-溴异丁酰溴，滴加过程中控制滴加速度，维持温度不超过5℃，滴加结束后，保持温度不变，搅拌2h，然后升温至20℃，继续搅拌反应16h，得到改性单体；支化单体、三乙胺、4-二甲氨基吡啶和2-溴异丁酰溴的用量比为1g：0.5mL：50mg：0.5g；步骤二、在氮气保护条件下，将改性单体、甲基（3-异丙氧基硅基）丙基丙烯酸酯加入苯甲醚中，加入吡啶，搅拌分散，然后加入溴化亚铜和氯化亚铜，搅拌分散后，升温至80℃，搅拌反应5h，得到改性剂；改性单体、甲基3-异丙氧基硅基丙基丙烯酸酯、吡啶、溴化亚铜和氯化亚铜的用量比为1g：0.5g：50mg：10mg：20mg；步骤三、将磨粒加入甲苯中，超声分散10-20min，然后加入改性剂和四氢呋喃，在温度为20℃条件下搅拌分散1h，然后加入三氟乙酸继续搅拌20-24h，得到抛光粉；将超支化聚醚胺和环氧基笼状倍半硅氧烷和乙醇混合，搅拌分散，在氮气保护条件下加热回流反应24h，得到支化单体；所述超支化聚醚胺和环氧基笼状倍半硅氧烷的质量比为9：1。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽禾臣新材料有限公司 一种晶片抛光用抛光液及其制备方法

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