申请/专利权人：西安炬光科技股份有限公司

申请日：2022-12-09

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN116009267B

主分类号：G02B27/09

分类号：G02B27/09;G02B27/14;G02B27/30;B23K26/064;B23K26/073

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2023.05.12#实质审查的生效;2023.04.25#公开

摘要：本申请实施例涉及光学装置技术领域，具体涉及一种光斑整形装置及激光加工设备，该光斑整形装置包括：准直组件，内部设置有准直通道，准直组件用于对准直通道内的光束进行准直处理；匀化组件，与准直组件可拆卸连接，匀化组件位于准直通道的另一端，匀化组件的内部设置有匀化通道，匀化组件用于对匀化通道内的光束进行匀化处理；聚焦组件，与匀化组件背离准直组件的一端可拆卸连接，聚焦组件的内部设置有聚焦通道，聚焦通道用于供经过匀化处理的光束由匀化通道背离准直通道的一端进入，聚焦组件用于将聚焦通道内的光束聚焦至加工件上。通过上述方式，本申请实施例便于光斑整形装置后期的维护。

主权项：1.一种光斑整形装置，其特征在于，包括：准直组件，内部设置有准直通道，所述准直通道一端用于供光束进入，所述准直组件用于对所述准直通道内的光束进行准直处理；匀化组件，与所述准直组件可拆卸连接，所述匀化组件位于所述准直通道的另一端，所述匀化组件的内部设置有匀化通道，所述匀化通道用于供经过准直处理后的光束由所述准直通道的另一端进入，所述匀化组件用于对所述匀化通道内的光束进行匀化处理；聚焦组件，与所述匀化组件背离所述准直组件的一端可拆卸连接，所述聚焦组件的内部设置有聚焦通道，所述聚焦通道用于供经过匀化处理的光束由所述匀化通道背离所述准直通道的一端进入，所述聚焦组件用于将所述聚焦通道内的光束聚焦至加工件上；所述匀化组件包括壳体和第一匀化镜组，所述第一匀化镜组设置于所述壳体内；所述第一匀化镜组包括第一微柱面阵列和第二微柱面阵列，所述第一微柱面阵列和所述第二微柱面阵列的面型方向均为第一方向，所述第一方向与所述匀化通道的轴向相垂直；所述第一微柱面阵列沿所述匀化通道的轴线转动设置于所述匀化通道内，所述第一微柱面阵列用于在相对于所述第二微柱面阵列旋转时，消除经过所述第一微柱面阵列与所述第二微柱面阵列之间的微通道的光斑两端的尖峰；所述第一微柱面阵列的外周设置有镜框，所述第一微柱面阵列转动连接于所述镜框；所述镜框与所述第一微柱面阵列在一侧分别设置有第一连接结构和第二连接结构，所述第一连接结构与所述第二连接结构通过弹性件相互连接，所述镜框与所述第一微柱面阵列在相对的另一侧分别设置有第三连接结构和第四连接结构，所述第三连接结构和所述第四连接结构通过调节件相互连接；所述调节件用于调节所述第三连接结构和所述第四连接结构之间的距离，使得所述第三连接结构和所述第四连接结构之间的距离增大时，所述第四连接结构带动所述第一微柱面阵列沿第一旋转方向相对于所述第二微柱面阵列旋转；所述弹性件处于拉伸状态，使得所述第三连接结构和所述第四连接结构之间的距离减小时，所述弹性件收缩并通过所述第二连接结构带动所述第一微柱面阵列沿第二旋转方向相对于所述第二微柱面阵列旋转，所述第二旋转方向与所述第一旋转方向相反。

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权利要求：

百度查询： 西安炬光科技股份有限公司 光斑整形装置及激光加工设备

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