申请/专利权人:应用材料公司
申请日:2018-12-10
公开(公告)日:2024-04-26
公开(公告)号:CN111433885B
主分类号:H01J37/34
分类号:H01J37/34;C23C14/35;C23C14/34
优先权:["20171211 US 62/597,397","20181207 US 16/213,805"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.26#授权;2020.12.29#实质审查的生效;2020.07.17#公开
摘要:本文提供磁电管组件以及并有该磁电管组件的处理系统的实施例。一些实施例中,一种磁电管组件包括:可旋转磁体组件,耦接至主体的底部且具有彼此间隔开的多个磁体;以及包覆主体,设置在该多个磁体之间的空间中。一些实施例中,该磁电管组件进一步包括主体,该主体沿着该磁电管组件的中心轴延伸且具有冷却剂馈通通道,以将冷却剂提供至该主体下方的区域。
主权项:1.一种磁电管组件,包括:可旋转磁体组件,具有彼此间隔开的多个磁体,其中所述多个磁体包括外圈磁体;以及包覆主体,设置在所述多个磁体之间的空间中,其中所述包覆主体包括多个孔洞,所述多个孔洞穿过所述包覆主体且与所述多个磁体相对应,其中所述包覆主体在所述外圈磁体的径向内侧处比在所述外圈磁体的径向外侧的区域厚。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 应用材料公司 具有增强靶材冷却设置的磁电管
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