申请/专利权人：连科半导体有限公司

申请日：2022-01-14

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN114383434B

主分类号：F27D17/00

分类号：F27D17/00;F27D7/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2023.12.15#专利申请权的转移;2022.05.10#实质审查的生效;2022.04.22#公开

摘要：本发明属于碳化硅合成领域，具体的说是炉室充气除尘系统，包括炉体、平台架和炉室抽气管道；所述炉体与平台架之间固定连接；所述炉体的炉顶盘的表面固连有第一充气管；所述炉体的炉底盘的表面固连有第二充气管；所述平台架的表面固连有总抽气管；所述总抽气管固连有管路沉积仓；所述炉体的中部位置固连有吸尘罩；所述吸尘罩的排气口固连有炉室抽气管道；通过本发明有效的实现了对合成炉的炉内挥发物以及粉尘等物质的清理，通过上下对流的加压气流，大幅提高了对挥发物以及粉尘清理效果，提高对炉内清理效率，并且清理后的气体会通过负压抽吸的方式快速导出，在合成炉开炉前，保证了对其内部的快速充分净化。

主权项：1.炉室充气除尘系统，其特征在于：包括炉体1、平台架2和炉室抽气管道3；所述炉体1与平台架2之间固定连接；所述平台架2包括有底层架4和顶层架5；所述炉体1的炉顶盘的表面固连有第一充气管6；所述炉体1的炉底盘的表面固连有第二充气管7，且第一充气管6和第二充气管7均外接空气压缩机；所述平台架2的表面固连有总抽气管8，且总抽气管8外接负压源；所述总抽气管8固连有管路沉积仓9；所述管路沉积仓9与总抽气管8之间连有气动蝶阀10；所述炉体1的中部位置固连有吸尘罩11；所述吸尘罩11的排气口固连有炉室抽气管道3，且炉室抽气管道3的一端与炉体1的炉内连通，另一端与管路沉积仓9之间相互连通；所述炉室抽气管道3的表面开设有螺纹；所述炉室抽气管道3的表面螺纹连接有封塞18；所述炉室抽气管道3远离封塞18的一端位置设有卷盘19；所述卷盘19的内部设有弹片20；所述卷盘19的内部转动连接有转柱21；所述转柱21的表面卷绕有连绳22；所述炉室抽气管道3的内部滑动连接有清理盘23，连绳22穿过清理盘23并与封塞18相连，且连绳22与清理盘23之间固定连接；所述炉室抽气管道3均为“L”形结构设计；所述炉室抽气管道3的拐角位置开设有清理孔16；所述炉室抽气管拐角的清理孔16位置设有法兰盲板17；所述清理孔16的口部位置开设有导槽；所述封塞18的表面转动连接有连块24，且连块24滑动连接于导槽的内部，连绳22与连块24之间固定连接；所述连绳22为耐高温弹性材料设计；所述连绳22的内部开设有进孔27；所述连绳22的内部于进孔27的底部位置开设有出孔28；所述清理盘23的表面开设有环形清理槽29；所述环形清理槽29与进孔27之间开设有均匀布置的第一连孔30；所述环形清理槽29与出孔28之间开设有均匀布置的第二连孔31。

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权利要求：

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