申请/专利权人：山特维克材料技术公司

申请日：2020-12-04

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN113739689B

主分类号：G01B7/16

分类号：G01B7/16;G01K13/00

优先权：["20200514 EP 20174571.8"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2023.07.28#实质审查的生效;2021.12.03#公开

摘要：本文公开传感器和系统。传感器包括：金属物体；薄膜堆叠，其在金属物体的至少一部分的表面上形成，其中该薄膜堆叠包括：电绝缘膜；位于电绝缘膜上的金属膜，其中在金属膜中限定第一电导体，其中该金属膜由与金属物体不同的金属合金构成，其中该第一电导体与金属物体通过电绝缘膜电绝缘，其中该第一电导体包括：在第一端中的连接点，其经由电线连接到第一端子；和在第二端中的传感器结构，其被限定在金属膜中，该传感器结构包括：金属膜的结点，其穿透电绝缘膜到达金属物体，由此形成热电偶；金属物体端子，其经由电线连接到金属物体的连接点，其中第一电导体的连接点和金属物体的连接点被构造成彼此相邻并且处于彼此等温关系。

主权项：1.一种传感器300，所述传感器包括：金属物体301；薄膜堆叠302，所述薄膜堆叠在所述金属物体的至少一部分的表面上形成，其中，所述薄膜堆叠包括：电绝缘膜303；位于所述电绝缘膜上的金属膜，其中，在所述金属膜中限定第一电导体304，其中，所述金属膜由与所述金属物体301不同的金属合金构成，其中，所述第一电导体304与所述金属物体301通过所述电绝缘膜303电绝缘，其中，所述第一电导体304包括：在第一端306中的连接点308，所述连接点经由电线连接到第一端子W0；和在第二端307中的传感器结构310，所述传感器结构被限定在所述金属膜中，所述传感器结构310包括：·所述金属膜的结点305，所述结点穿透所述电绝缘膜303到达所述金属物体301，由此形成热电偶；金属物体端子W1，所述金属物体端子经由电线连接到所述金属物体301的连接点309，其中，所述第一电导体304的所述连接点308和所述金属物体301的所述连接点309被构造成彼此相邻并且处于彼此等温关系，并且，所述传感器300还包括：第二电导体311，所述第二电导体被限定在所述金属膜中，其中，所述第二电导体311在所述第一端306中包括连接点312；并且，所述传感器结构310进一步包括处在第一端314和第二端313之间的应变敏感部分，并且所述传感器结构310被配置用以根据所述金属物体301的被施加的机械应变来改变电阻，其中，所述应变敏感部分的所述第一端314连接到所述第一电导体304，并且所述应变敏感部分的所述第二端313连接到所述第二电导体311；并且所述结点305被配置用以感测所述应变敏感部分的温度。

全文数据：

权利要求：

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