申请/专利权人：芯恩(青岛)集成电路有限公司

申请日：2023-08-15

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN220856535U

主分类号：H01L21/68

分类号：H01L21/68

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权

摘要：本实用新型提供一种晶圆预对准装置，包括晶圆旋转基座、设置有固定框的支架及包括晶圆预对准采集器、晶圆ID读码器及计数器的晶圆信息采集结构，晶圆预对准采集器及晶圆ID读码器均设置于固定框上，计数器与晶圆ID读码器相通信以对晶圆ID进行统计；在实现晶圆预对准的同时，对晶圆混批及顺序放置进行校验；对工艺遗漏以及重复进行检验；对晶圆边缘是否存在缺角和或裂纹进行监控；方便PM操作并可快速调整距离，提升WPH；可同时兼容不同尺寸的晶圆，降低成本，极大满足工厂需求；可大大减少产品受影响范围，及时有效止损；整体装置结构简单，系统制作及维护保养方便，稳定性、可靠性高，可长期使用，实用性强，提高工厂生产效益。

主权项：1.一种晶圆预对准装置，其特征在于，所述晶圆预对准装置包括：晶圆旋转基座，用以承载及旋转晶圆；支架，所述支架上设置有固定框，所述固定框与所述晶圆旋转基座对应设置；晶圆信息采集结构，所述晶圆信息采集结构包括晶圆预对准采集器、晶圆ID读码器及计数器，其中，所述晶圆预对准采集器及所述晶圆ID读码器均设置于所述固定框上，所述计数器与所述晶圆ID读码器相通信以对晶圆ID进行统计。

全文数据：

权利要求：

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