申请/专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司

申请日：2023-09-22

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN220846269U

主分类号：C23C16/46

分类号：C23C16/46;C23C16/455

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权

摘要：本申请公开了真空镀膜设备。真空镀膜设备包括工艺腔体、第一进气管路、第二进气管路和排气管路；第一进气管路与工艺腔体连通；第二进气管路与工艺腔体连通；排气管路与工艺腔体连通；其中，第一进气管路包括第一气流管路和第一加热管路，第一气流管路与第一加热管路串联，第一加热管路通过第一气流管路与工艺腔体连通，第一加热管路设置有第一流体加热器。通过上述方式，本申请可提高真空镀膜质量，并能够提高生产效率。

主权项：1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括：工艺腔体；第一进气管路，与所述工艺腔体连通；第二进气管路，与所述工艺腔体连通；排气管路，与所述工艺腔体连通；其中，所述第一进气管路包括第一气流管路和第一加热管路，所述第一气流管路与所述第一加热管路串联，所述第一加热管路通过所述第一气流管路与所述工艺腔体连通，所述第一加热管路设置有第一流体加热器。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏微导纳米科技股份有限公司 真空镀膜设备

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