申请/专利权人：丹东锐芯微电子有限公司

申请日：2024-03-29

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN220856517U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权

摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，公开了用于硅的刻蚀设备，包括轨道、刻蚀箱和清理箱，轨道上安装有若干个行走车，行走车的侧壁竖直固定安装有电动丝杠模组，电动丝杠模组的滑台竖直固定安装有一级负压管道，一级负压管道水平连通安装有若干个二级负压管道，二级负压管道通过转动接头连通安装有三级负压管道，三级负压管道的顶部连通安装有负压吸盘；一级负压管道的侧壁通过轴承座转动安装有转轴，一级负压管道的侧壁固定安装有减速电机，减速电机与转轴的一端联接，每个三级负压管道和转轴之间安装有传动结构；清理箱设置有清理装置。本实用新型能够提升晶圆运输的灵活性、提升晶圆夹持的数量和便利性、提升刻蚀效率和质量、提升清理效果。

主权项：1.用于硅的刻蚀设备，包括轨道（1）、显影箱（15）、刻蚀箱（9）和清理箱（14），所述轨道（1）上安装有若干个行走车（2），其特征在于：所述行走车（2）的侧壁竖直固定安装有电动丝杠模组（12），所述电动丝杠模组（12）的滑台（16）竖直固定安装有一级负压管道（11），所述一级负压管道（11）水平连通安装有若干个二级负压管道（8），所述二级负压管道（8）通过转动接头（7）连通安装有三级负压管道（6），所述三级负压管道（6）的顶部连通安装有负压吸盘（5）；所述一级负压管道（11）的侧壁通过轴承座（17）转动安装有转轴（10），所述一级负压管道（11）的侧壁固定安装有减速电机（13），所述减速电机（13）与转轴（10）的一端联接，每个所述三级负压管道（6）和转轴（10）之间安装有传动结构（4），所述清理箱（14）设置有清理装置（3）；所述传动结构（4）包括驱动链轮（41）、链条（42）和从动链轮（43），所述驱动链轮（41）与转轴（10）固定装配，所述从动链轮（43）与三级负压管道（6）固定装配，所述驱动链轮（41）和从动链轮（43）之间啮合有链条（42）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 丹东锐芯微电子有限公司 用于硅的刻蚀设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD