申请/专利权人：量伙半导体设备(上海)有限公司

申请日：2023-09-20

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN220856513U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权

摘要：一种半自动高温快速退火设备，包括退火炉、门板、石英支架、限位组件和底座门板设置在退火炉的侧面，石英支架安装在门板上且正对着退火炉的退火腔室，石英支架上设有限位组件，其中，所述限位组件包括盖板、联动组件和伸缩杆，盖板位于石英支架上，盖板的内壁径向等角度开设有径向孔，联动组件设置在盖板上，伸缩杆一端穿过径向孔与联动组件传动连接，另一端设有底座，联动组件用于驱动伸缩杆在盖板的径向上相互靠近或相互远离，通过控制联动组件来驱动伸缩杆带动底座移动，从而改变限位区的大小，在实际使用中可以适应不同大小尺寸的晶圆片，且调节迅速，调节结果准确。

主权项：1.一种半自动高温快速退火设备，包括退火炉1、门板2、石英支架3、限位组件4和底座5，所述门板2通过直线驱动装置设置在退火炉1的侧面，石英支架3安装在门板2上且正对着退火炉1的退火腔室，石英支架3上设有限位组件4，其特征在于：所述限位组件4包括盖板43、联动组件44和伸缩杆47，盖板43位于石英支架3上，盖板43的内壁径向等角度开设有至少三个径向孔432，至少三个联动组件44设置在盖板43上，伸缩杆47一端穿过径向孔432与联动组件44传动连接，另一端设有底座5，其中联动组件44用于驱动伸缩杆47在盖板43的径向上相互靠近或相互远离。

全文数据：

权利要求：

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