申请/专利权人:四川鸿源鼎芯科技有限公司
申请日:2023-09-25
公开(公告)日:2024-04-26
公开(公告)号:CN220855445U
主分类号:G03F7/20
分类号:G03F7/20
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.26#授权
摘要:本实用新型属于光刻机技术领域,公开了一种手动双面同心调节平台,包括平台,平台上竖直安装有安装座,安装座上设有水平设置的支撑座和竖直设置的直线导轨,直线导轨上滑动安装有下调节机构和上调节机构,下调节机构上安装有下对位镜头,上调节机构上安装有Y轴微调平台,Y轴微调平台上安装有X轴微调平台,X轴微调平台上安装有上对位镜头,上对位镜头和下对位镜头分别位于支撑座的上下两侧,支撑座上设置有标定尺。本实用新型的手动双面同心调节平台,使用时将标定尺放在XY轴载物台上,标定尺作为基准,可以方便的调节上对位镜头和下对位镜头,使上对位镜头和下对位镜头同心。
主权项:1.一种手动双面同心调节平台,其特征在于:包括底座1,底座1上竖直安装有安装座2,安装座2上设有水平设置的支撑座4和竖直设置的直线导轨6,直线导轨6上滑动安装有下调节机构3和上调节机构7,下调节机构3上安装有下对位镜头12,上调节机构7上安装有Y轴微调平台9,Y轴微调平台9上安装有X轴微调平台10,X轴微调平台10上安装有上对位镜头8,上对位镜头8和下对位镜头12分别位于支撑座4的上下两侧,支撑座4上设置有标定尺11。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 四川鸿源鼎芯科技有限公司 手动双面同心调节平台
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。